Phoenix 81 액상 레지스트 출시, TMAH·NEP 대체 친환경 화학 개발
NanoFrazor 열주사 리소그래피용 Phoenix 81(PPA)이 즉시 사용 가능한 액상 레지스트로 새롭게 출시되었습니다. HSQ 대체 Medusa 84 SiH의 고해상도·식각 내성·보관 안정성도 재확인되었으며, TMAH·NEP 기반 공정 화학약품을 대체하는 친환경 대안 개발이 진행 중입니다. ALLRESIST는 2026년 EIPBN(덴버)·MNE(인터라켄)·SEMICON Europa(뮌헨)에 참가하며, 수요 증가에 따라 5월 물류·출하동 신축에 착수합니다.
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