반도체·소자 R&D 연구기관을 위한 이온주입 파운드리 서비스. 소량 의뢰부터 정기 공정까지, 공정 조건 상담부터 실행·리포트까지 JPDREAM이 지원합니다.
공정 조건 상담 문의 서비스 보기Coherent/INNOViON의 기술력을 기반으로 한 이온주입 파운드리 서비스를 제공합니다.
연구개발용 소량 이온주입 의뢰. 도즈(dose)·에너지(energy) 조건 상담 후 진행. 결과 리포트 제공.
이온주입 장비 리퍼브(refurbishment) 및 유지보수 서비스. 장비 성능 복원·안정화.
고에너지(High Energy)부터 표준·특수·가열(Heated) 주입까지, 넓은 에너지·도즈·틸트 범위를 지원합니다. 아래 표는 대표 공정 범위이며, 표에 없는 원소·조건도 주문(on demand) 대응이 가능합니다. 실제 적용 사양은 웨이퍼·공정 조건에 따라 달라질 수 있으니 문의 시 상세 안내해 드립니다.
| 구분 | 에너지 (single+, keV) |
웨이퍼 직경 (mm) |
주요 이온종 (그 외 주문 대응) |
도즈 범위 | 최대 틸트각 |
|---|---|---|---|---|---|
| High Energy — 고에너지 | |||||
| High Energy | 10 – 1,000 | 50 – 150 | H, He, B, P, BF₂, As, Si, Ar, C, N, O, Ga, Be, Al | E11 – E17 | 90° (4″) / 60° (6″) |
| Standard Energy — 표준 | |||||
| Standard | 1 – 250 | 50 – 300 | H, He, B, P, BF₂, As, In, Sb, Si, Ge, Ar, C, N, O, Al | E10 – E17 | 90° (4″) / 60° (6″) |
| Specialty — 특수 | |||||
| Specialty | 1 – 210 | Various | 대부분의 원소 대응 (LN 냉각·가열 주문 가능) | E8 – E16 | 0° – 90° |
| Heated — 가열 (HOT Implant) | |||||
| Heated | 5 – 335 | (50 –) 150 | H, He, B, P, BF₂, Ar, C, N, O, Al | E10 – E16 | 45° |
SiC 대응 HOT Implant 지원: 부상하는 SiC 공정 요구에 맞춰 고온(HOT) 주입 역량을 갖추고 있으며, 웨이퍼 크기는 2″~12″(배치 2″~8″), 고에너지 최대 3 MeV(제한 이온종, 6″)까지 지원합니다. 전 세계 이온주입 파운드리 1위, ISO 9001:2015 및 ITAR 등록 기업입니다.
GaAs·SiC·GaN·SAW/BAW 소자. VCSEL(3D 센싱), RF, LED, 자동차·전력반도체 응용. 6″ 기판 고에너지 주입 대응.
CMOS·FinFET·전력소자. 2″~300mm 유연 대응. 양산 버스트 캐파·다운타임 안정화·R&D 목적 위탁 주입.
InP·ZnSe·LiNbO₃·SiO₂/Si·InSb 등. 신규 플랫폼·이머징 소재에 맞춘 맞춤 fixture·공정 개발 지원.
소형 팹을 보유했으나 이온주입기 유지가 어려운 대학·연구소. 다품종 소량 주입에 최적화.
레거시 배치(batch) 이온주입기의 수명 연장과 생산성 향상을 위한 디스크·히트싱크 인서트 리퍼브·개선·교체 서비스입니다. 모든 배치 이온주입기 디스크/휠 타입을 리퍼브할 수 있습니다.
150mm·200mm·300mm 히트싱크 인서트(Clear/Black/Thermal/Dielectric), 200mm VIISion·GSD UHD/VSD 디스크 대응.
웨이퍼 온도·도즈 균일도·오염 제어·파티클·차징 제어 등 디스크 특성이 주입 공정 성능에 미치는 요소를 최적화.
Coherent Corp.(구 II-VI Incorporated)는 레이저·광학·반도체 소재 분야의 글로벌 기업으로, INNOViON은 이온주입 파운드리 서비스 전문 브랜드입니다. 1976년 San Jose에서 시작해 30여 대의 이온주입기를 보유한 세계 1위 이온주입 파운드리이며, 300개 이상의 반도체·화합물·대학 고객에 서비스를 제공합니다. JPDREAM은 Coherent/INNOViON의 공식 한국 대리점으로서 국내 연구기관과 기업에 이온주입 서비스를 공급합니다.
이온주입 공정 조건, 견적, 납기, 장비 리퍼브·유지보수 등 모든 문의는 JPDREAM으로 연락 주세요.