AR-PC 5094(Electra 94)는 ALLRESIST의 전도성 보호막으로, 절연 기판 위 전자빔 리소그래피(EBL)에서 발생하는 차징(charging)을 방지해 패턴 정확도를 높입니다. CAR을 제외한 거의 모든 e-beam 레지스트 위에 적용 가능해 Medusa 84·CSAR 62 등과 함께 사용합니다. JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다.
| 종류 | 전도성 보호 코팅 (Electra 94) — polyaniline 유도체, 수용성 |
|---|---|
| 고형분·점도 | 2% / 1 mPa·s (25°C) |
| 막두께(film thickness) | 42 nm @ 4000 rpm · 100 nm @ 1000 rpm |
| 전도도(conductivity) | 1.2 S/m (60 nm 층 기준; 90 nm 층은 약 2.5배) |
| 적용 대상 | 모든 AR 전자빔 레지스트(CAR 제외) — 특히 HSQ/Medusa 84 SiH·CSAR 62 |
| 광 감응성 | 없음(빛/방사선 비감응) — 차징 방지 전용 |
| 보관·소프트베이크 | 보관 8~12°C / 소프트베이크 85°C |
| 제거(remover) | DI water (탈이온수)로 간단 제거 |
사양은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준의 대표값입니다. 본 변종(.02)은 HSQ/Medusa 84 SiH용으로 코팅·밀착 특성이 최적화되어 있습니다.
정확한 사양·도포 조건은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준이며, JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
ESpacer 300Z는 냉장 보관이 필요하고 사용기간(shelf life)이 짧은 편입니다. AR-PC 5094(Electra 94)는 보관 안정성·유통기한이 개선되었고, 특정 레지스트에 국한되지 않고 거의 모든 e-beam 레지스트에 범용으로 적용됩니다. 현재 사용 환경을 알려주시면 JPDREAM이 적합 여부를 함께 검토해 드립니다.
JPDREAM이 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다. 아래로 문의하시면 견적·납기를 안내해 드립니다.
CAR(화학증폭형)을 제외한 거의 모든 e-beam 레지스트에 적용 가능하며, Medusa 84·CSAR 62와도 함께 사용합니다.
AR-PC 5094(Electra 94)는 이들의 후속 제품으로, 보관 안정성 등이 개선되었습니다. 전환 관련 안내가 필요하면 문의해 주세요.
평균 발주 후 2~3주 이내입니다. 일반적으로 재고를 보유하지 않고 주문 공급합니다.
네, JPDREAM에 요청하시면 ALLRESIST 공식 데이터시트와 SDS를 제공해 드립니다.
구매, 견적, 납기, 데이터시트/SDS 요청은 JPDREAM으로 문의해주세요.
이메일 문의 (biz@jpdream.kr)