AR-P 1200은 ALLRESIST의 스프레이 코팅 전용 positive 포토레지스트 시리즈입니다. 노볼락·NQD 기반으로, 깊은 트렌치나 3차원 토폴로지 등 스핀 코팅이 어려운 표면을 균일하게 도포하는 데 적합합니다(EVG® 150 등 스프레이 코터 대응). JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다.
| 톤(tone) | Positive |
|---|---|
| 조성 | Cresol novolak + 나프토퀴논디아자이드(NQD) |
| 용제(solvent) | PGMEA + 메틸에틸케톤(MEK) |
| 변종·막두께 | AR-P 1210(4~10 µm, 수직 트렌치 균일 도포) · 1220(3~8 µm, 54° 경사) · 1230(0.5~1 µm, 평탄 웨이퍼) |
| 해상도(resolution) | 1.0 µm (최소 1.4 µm) |
| 콘트라스트(contrast) | 3.0 |
| 감도(sensitivity) | 약 170 mJ/cm² @ 4.5 µm (broadband UV) |
| 노광·내열 | broadband UV·i-line·g-line / 유리전이온도 108°C |
| 공정 화학 | 현상액 AR 300-44 · 리무버 AR 300-76, AR 300-73 |
사양은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준의 대표값이며, 변종·공정 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 정확한 데이터시트와 SDS는 JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
요철·3차원 구조, 깊은 식각 트렌치, MEMS 등 스프레이 코팅이 필요한 공정에 사용됩니다. 변종(1210/1220/1230)에 따라 막두께·프로파일이 다릅니다.
JPDREAM이 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다. 아래로 문의하시면 견적·납기를 안내해 드립니다.
평균 발주 후 2~3주 이내입니다. 일반적으로 재고를 보유하지 않고 주문 공급합니다.
네, JPDREAM에 요청하시면 ALLRESIST 공식 데이터시트와 SDS를 제공해 드립니다.