SX-AR-P 3500/8은 AR-P 3500을 기반으로 한 내열(thermostable) 특수 positive 포토레지스트(주문형)로, 높은 열 안정성이 요구되는 공정에 적합합니다. JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다.
| 톤(tone) | Positive (내열 특수) |
|---|---|
| 조성 | Cresol novolak + NQD |
| 용제(solvent) | PGMEA |
| 해상도(resolution) | AR-P 3500급 고해상도 |
| 막두께(film thickness) | 주문 사양 — 데이터시트 문의 |
| 내열성(thermal) | 높음 (thermostable) |
| 적용 | 고온 공정 |
| 현상액(developer) | 0.26 N TMAH |
사양은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준의 대표값이며, 변종·공정 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 정확한 데이터시트와 SDS는 JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
고온·열적 요구가 큰 공정에 사용됩니다. 정확한 사양은 주문 조건에 따라 데이터시트로 안내해 드립니다.
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