AR 600-546은 CSAR 62(AR-P 6200) 전용 현상액으로, amyl acetate를 주성분으로 한 약현상(weaker developer) 계열입니다. 1분 현상으로 dark erosion이 적어 고해상도 구조에 적합합니다. JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다.
| 종류 | 전자빔 레지스트 현상액 (CSAR 62 전용) |
|---|---|
| 주성분 | Amyl acetate |
| 특성 | 약현상(weaker developer) — dark erosion 적음 |
| 적용 레지스트 | AR-P 6200 (CSAR 62) — 1분 현상 |
| 밀도·인화점 | 0.876 g/cm³ @ 20°C / 인화점 41°C |
| 보관 | 10~22°C, 0.2µm 여과 |
사양·사용 조건은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준이며, 적용 레지스트·공정에 따라 달라질 수 있습니다. 정확한 데이터시트와 SDS는 JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
CSAR 62(AR-P 6200) 전자빔 레지스트의 현상 공정에 사용됩니다.
JPDREAM이 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다. 아래로 문의하시면 견적·납기를 안내해 드립니다.
평균 발주 후 2~3주 이내입니다. 일반적으로 재고를 보유하지 않고 주문 공급합니다.
네, JPDREAM에 요청하시면 ALLRESIST 공식 데이터시트와 SDS를 제공해 드립니다.