AR-PC 5040은 PMMA 기반의 밀착 강화 KOH 내성 보호 코팅으로, 실리콘 심부 구조 제작 시 전면 식각 동안 웨이퍼 후면을 보호합니다. 취급·운송 중 기계적 손상으로부터도 보호하며 250°C까지 내열합니다. JPDREAM은 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다.
| 종류 | 보호 코팅 (PMMA 기반, 후면 보호) |
|---|---|
| 용제(solvent) | Anisole (AR-PC 504는 chlorobenzene) |
| 막두께(film thickness) | 약 2.8 µm @ 4000 rpm (5040) / 2.2 µm (504) |
| 내약품성 | 40% KOH·HF·BOE 식각 안정 (AR 300-80 전처리 시 최대 8시간) |
| 해상도(resolution) | 해당 없음 (보호막) |
| 내열성(thermal) | 최대 250°C / 유리전이온도 105°C / >300 nm 광 비감응(황색등 불필요) |
| 공정 화학 | 밀착 AR 300-80 · 씨너 AR 600-01 · 리무버 AR 300-76, AR 600-71 |
사양은 ALLRESIST 공식 데이터시트 기준의 대표값이며, 변종·공정 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 정확한 데이터시트와 SDS는 JPDREAM에 요청하시면 제공해 드립니다.
실리콘 심부(deep) 구조 제작 시 후면 보호, 강알칼리(40% KOH)·HF 습식 식각 공정의 표면·구조 보호에 사용됩니다.
JPDREAM이 ALLRESIST 공식 한국 대리점으로서 국내에 공급합니다. 아래로 문의하시면 견적·납기를 안내해 드립니다.
평균 발주 후 2~3주 이내입니다. 일반적으로 재고를 보유하지 않고 주문 공급합니다.
네, JPDREAM에 요청하시면 ALLRESIST 공식 데이터시트와 SDS를 제공해 드립니다.